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  • 產品名稱:MPCVD單晶鉆石沉積設備

  • 產品型號:
  • 產品廠商:成越科儀
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
化學氣相沉積法制備高品質單晶鉆石,化學氣相沉積法制備高品質多晶鉆石自支撐厚膜,化學氣相沉積法制備高品質多晶鉆石薄膜
詳情介紹:


適合的應用:

化學氣相沉積法制備高品質單晶鉆石


化學氣相沉積法制備高品質多晶鉆石自支撐厚膜

化學氣相沉積法制備高品質多晶鉆石薄膜

化學氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和鉆石膜等各種碳納米薄膜



產品特點: 

本產品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設備,功率密度高;

水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔,保證系統能長時間穩定工作;

基片溫度以微波等離子體自加熱方式達到;

真空測量儀表采用全量程真空計,可**測量本底真空和工作氣體壓強;

真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為1Pa),系統可自動控制沉積氣壓;

配備冷卻水循環系統,確保裝置高功率下可長時間安全穩定運行;

系統帶15寸觸摸屏,PLC自動控制,可設置溫度或氣壓恒定,可保存復用多達20套工藝文件;

全自動工藝控制模塊,可以穩定可靠地制備高品質鉆石薄膜和晶體

技術指標與特性:

項目名稱

規格

配置

主控單元

 

PLC 自動程控

微波源

6kw  2.45Ghz

微波電源

微波發生器

波導

6kw

三銷釘

模式轉換器

6kw

 

諧振腔體

6kw

柱形水冷腔體

基臺

φ70mm

電動升降

鉆石生長基本參數

 

7x7mm   37

8x8mm   29

9x9mm   21

10x10mm  13

MFC(質子流量計)

5

Ch4  0-500sccm

H2   0-500sccm

N2  0-500sccm

Ar   0-500sccm

O2   0-500sccm

測溫元件

 

高精度紅外測溫儀

真空測量

 

高精度真空計

分子泵

 

默認無/可選

氫氣純化

 

9N

水循環

 

3P水冷機



豫公網安備 41019702002438號

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