產品詳情
  • 產品名稱:實驗室多弧離子鍍鍍膜儀

  • 產品型號:CY-MIOP500S-2TA
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
實驗室多弧離子鍍鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上,實驗室多弧離子鍍鍍膜儀十分適合鍍硬質保護膜如TiN等
詳情介紹:

CY-MIOP500S-2TA多弧離子鍍鍍膜儀

多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等優點。十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。

設計特色

本設備配有兩個多弧靶,分置于腔體兩側。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率,改善成效果,該鍍膜儀還采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的安全。 


產品型號

CY-MIOP500S-2TA

真空腔體

水冷不銹鋼腔體

φ500mm X 490mm(H)

前開門式,配有φ100mm石英觀察窗

內置兩組紅外加熱燈,可對腔體烘烤除氣

預留多個CF接口,可安裝多路膜厚儀

進氣系統

質量流量計Ar氣0~200sccm,

N2氣0~200sccm其他流量或者氣體可定制

供電要求

AC 220V 50Hz  10kW

控制方式

15英寸觸控屏 組態控制軟件

多弧靶

數量規格

3英寸x2

安裝方式

腔體側方對置

工作電流

0~150A

靶材厚度

max50mm,min20mm

樣品

規格

行星式掛架

可懸掛樣品數

每支掛架上6個掛點,共計6個掛架

轉速

公轉轉速1~20rpm

真空系統

 

產品型號

CY-GZK103-A

分子泵

渦輪分子泵

前極泵

雙極旋片泵

抽氣速率

分子泵:600L/S

綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa

旋片泵:1.1L/S

極限真空

5×10E-4Pa

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

真空測量

復合真空計

 

豫公網安備 41019702002438號

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