產品詳情
  • 產品名稱:PE-HPCVD等離子增強物理化學氣相沉積

  • 產品型號:CY-PE-HPCVD
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
PE-HPCVD等離子增強物理化學氣相沉積由一臺雙溫區管式爐,一套鎢絲蒸發源,一套等離子發生裝置以及一套質量流量計組成。PE-HPCVD等離子增強物理化學氣相沉積適用于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆。
詳情介紹:

PE-HPCVD等離子增強混合物理化學氣相沉積系統

本產品是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積(PE-HPCVD)雙溫區旋轉管式爐系統。該設備包括一臺雙溫區管式爐,一套鎢絲蒸發源,一套等離子發生裝置以及一套質量流量計系統。其工作原理是通過蒸發源將反應物在進氣端蒸發后通過氣流載入管式爐溫區內進行CVD反應,同時通過等離子增強促進反應的發生,適用于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆,如制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等。

雙溫區管式爐

產品型號

CY-O1200-50IIT

爐管材質

高純石英

爐管直徑

50mm

爐管長度

1200mm

爐膛長度

440mm

加熱區長

200mm+200mm

工作溫度

0~1100℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

高清全彩LCD觸控屏

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

供電電源

AC:220V 50/60Hz  2.5kW

RF輸出系統

功率范圍

0~300W可調

工作頻率

13.56MHz+0.005%

工作模式

連續輸出

匹配阻抗模式

能夠匹配,起輝均勻布滿爐管

功率穩定度

≤2W

正常工作反射功率

≤3W

放大反射功率

≤70W

諧波分量

≤-50dBc

整機效率

≥70%

功率因素

≥90%

供電電壓/頻率

單相交流(187V~153V) 頻率50/60Hz

控制模式

內控/PLC 模擬量/RS232/485通訊

電源保護設置

DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護

冷卻方式

強制風冷

起輝長度

在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿爐管

蒸發舟

工作溫度

1300℃

蒸發源

鎢絲籃,可選配錐形氧化鋁坩堝

熱電偶

S型熱電偶

工作電流

≤30A 

*大功率

500W

流量計

四路質子流量計

流量范圍

MFC1量程:0~200sccm  MFC2量程:0~200sccm

MFC3量程:0~500sccm  MFC4量程:0~500sccm

分別對應氣體H2、 CH4、 N2、 Ar、

測量精度

±1.5%F.S

重復精度

±0.2%FS

線性精度

±1%F.S.

響應時間

≤4s

工作壓力

-0.15Mpa~0.15Mpa

流量控制

液晶觸摸屏控制,數字顯示,每路氣體含有針閥單獨控制

進氣接口

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

出氣接口

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

連接方式

雙卡套接頭

工作溫度

5~45℃

氣體預混

配氣體預混裝置

真空系

 

產品型號

CY-GZK103-A

分子泵

渦輪分子泵

前極泵

雙極旋片泵

抽氣速率

分子泵:600L/S

綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa

旋片泵:1.1L/S

極限真空

5×10E-4Pa

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

真空測量

復合真空計

 

豫公網安備 41019702002438號

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