產品詳情
  • 產品名稱:三靶磁控濺射鍍膜儀雙電源

  • 產品型號:
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
三靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模塊化、可定制化的特點。磁控靶有1英寸2英寸可以選擇,客戶可以根據所鍍基板的大小自主選購;所配電源為500W直流電源和500W射頻電源,直流電源可用于金屬薄膜的制備,射頻電源可用于非金屬膜的制備,三個靶可以滿足多層或者多次鍍膜的需要。若客戶有其他鍍膜需要,可以定制其他射頻電源和脈沖電源,各型電源均有300W到1000W多種規格可選。
詳情介紹:

該設備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。該三靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備。

鍍膜儀配有兩路高精度質量流量計,客戶若另有需求可以定制至多四路質量流量計的氣路,以滿足復雜的氣體環境構建需求;儀器標配先進的渦輪分子泵組,極限真空可達1.0E-5Pa,同時另有其他類型的分子泵可供選購。分子泵的氣路由多個電磁閥控制,可以實現在不關泵的情況下打開腔體取出樣品,大大提高了您的工作效率。本產品可以選配一體機工控電腦對系統進行控制,在電腦程序上可以實現真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數功能,可以進一步提高您的實驗效率。

三靶磁控濺射鍍膜儀(直流電源+射頻電源)

樣品臺

尺寸

φ140mm

控溫精度

±1

 

加熱溫度

*高500

轉速

1-20rpm可調

磁控濺射頭

數量

2” x3 (1”,2”可選)

水冷機規格

10L/min流速的循環水冷機

 

冷卻方式

水冷

 

 

真空腔體

腔體尺寸

Dia.300mm×300mm

觀察窗口

φ100mm

 

腔體材料

不銹鋼

開啟方式

上頂開式

質量流量計

2路;量程100sccm;100sccm(可根據客戶需要定制多路氣路)

真空系統

產品型號

CY-GZK103-A

抽氣接口

CF160

 

分子泵

CY-600

排氣接口

KF40

 

前極泵

旋片泵

真空測量

復合真空計

 

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC;220V 50/60Hz

 

抽氣速率

分子泵:600L/S  旋片泵:1.1L/S  綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達: 1.0E-3Pa

電源配置

數量

直流電源x2  射頻電源 x1

*大輸出功率

直流電源500W 射頻電源500W

 

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機尺寸

600mm X 650mm X 1280mm

 

整機功率

4KW

整機重量

300kg

 

極限真空度

1.0E-5Pa

 

豫公網安備 41019702002438號

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